〓详细说明〓
产品名称：真空蒸发镀膜机/光学镀膜机/有机物镀膜机/金属镀膜机
型号：HY-200
用途：真空蒸发镀膜机/光学镀膜机/有机物镀膜机/金属镀膜机主要应用于高校科研小型蒸镀仪器，热蒸发镀膜机，叉指电极，电阻导电测试，用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜，特别适合于高科技企业、科研单位 和高校用于膜层研究和膜系开发。
〓技术参数〓
1、可镀最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式样品台， 样品可旋转；另配备铜基板样品台
2、注：可根据用户需要进行配置调整！
3、开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料
4、水冷循环系统 0.5P
5、真空系统：机械泵+分子泵抽气系统
6、极限真空度：优于 5*10-5Pa
7、蒸发：电阻式蒸发电极（1 对），可达到 1800℃（只要熔点低于 1600 度的都可以蒸镀）功率：2KW
8、抽气时间：大气压~8*10-4Pa 小于 30min
9、真空室：∅220mm*H400mm
〓镀膜机结构介绍〓
真空蒸发镀膜机/光学镀膜机/有机物镀膜机/金属镀膜机设备由真空室、真空机组和电气系统组成。
☑真空室，圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配 DN60 观察窗（含防污挡板）、预抽接口、充气接口； 内部有底板、蒸发源等。
☑真空系统及进气，采用 110L 分子泵+4L 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。
☑膜厚测量装置，采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套（选配）。
☑电气系统，电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源，数显◐。
